碳化硅的生产流程
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碳化硅晶片加工过程及难点 - 知乎专栏
2022年1月21日 碳化硅晶片生产流程. 碳化硅晶片以高纯硅粉和高纯碳粉作为原材料，采用物理气相传输法（pvt）生长碳化硅单晶，再在衬底上使用化学气相沉积法（cvd法）等 2020年6月10日 有时为获取高纯度的碳化硅，则可以用气相沉积的方法，即用四氯化硅与苯和氢的混合蒸气，通过炽热的石墨棒时，发生气相反应，生成的碳化硅就沉积在石墨表 碳化硅的合成、用途及制品制造工艺 - 百家号2023年1月17日 【SiC 碳化硅加工工艺流程】 苏州精创光学-时梦 1 人 赞同了该文章 碳化硅晶片是以高纯硅粉和高纯碳粉作为原材料，采用物理气相传输法（PVT） 生长碳化硅晶 【SiC 碳化硅加工工艺流程】 - 知乎专栏
碳化硅生产工艺流程 - 百度知道
碳化硅 生产 工艺流程 简述如下: ⑴、原料破碎 采用锤式破碎机对 石油焦 进行破碎,破碎到工艺要求的粒径。 ⑵、配料与混料 配料与混料是按照规定配方进行称量和混匀的过程。 本 碳化硅生产工艺 工业上合成碳化硅多以石英砂、石油焦（无烟煤）为主要原料，在电炉内温度在2000~2500℃下，通过下列反应式合成： SiO2+3C SiC+2CO-46.8kJ (11.20kcal) 1. 碳化硅生产工艺 - 百度文库
